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優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)的生產(chǎn)過程究竟有多復(fù)雜?
點(diǎn)擊次數(shù):2607 更新時間:2022-07-04
  優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水*生產(chǎn)到超純水的生產(chǎn)系統(tǒng)。一般超純水系統(tǒng)通過離子交換、脫氣、反滲透、UV、超濾、納米速率、離子吸附過濾等多重過濾產(chǎn)生超純水。一般來說,超純水系統(tǒng)可分為三部分:超純水制造區(qū)(CUB部分);超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分);超純水傳輸網(wǎng)絡(luò)(FAB各使用區(qū))。
  

優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)

 

  優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是一個非常重要且復(fù)雜的部分,分為預(yù)處理、初級純水處理和超純水處理三個部分。預(yù)處理部分主要包括:砂濾和活性炭塔;初級純水主要包括陰離子交換塔、脫氣塔(DG)、安全過濾器、紫外線殺菌器和多級反滲透;超純水主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)和末端過濾器。但考慮到輸水管道在將高純水輸送到工藝線設(shè)備的過程中會再次污染水質(zhì),因此拋光循環(huán)系統(tǒng)一般設(shè)置在晶圓廠內(nèi)。精制循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心,外加超濾設(shè)備(UF),在將純水輸送到工藝生產(chǎn)線的過程中,去除管網(wǎng)中溶解在水中的雜質(zhì)。
  
  1、液位聯(lián)鎖全自動控制,具有系統(tǒng)開機(jī)自檢、原水不足停機(jī)自動保護(hù)、系統(tǒng)低壓高壓停機(jī)報警、缺相過流停機(jī)報警、自動水箱高水位停機(jī)/中水位啟動、系統(tǒng)自動沖洗等。同時系統(tǒng)還具有手動操作功能,滿足應(yīng)急需要;
  
  2、增強(qiáng)型預(yù)處理系統(tǒng)采用全自動控制閥,實(shí)現(xiàn)預(yù)處理的自動/手動再生,使用壽命長;
  
  3、恒壓供水系統(tǒng)由全自動水泵控制器控制,數(shù)字電路經(jīng)久耐用,可手動操作;
  
  4、儀器儀表全顯示設(shè)計(jì),可有效監(jiān)測系統(tǒng)各項(xiàng)指標(biāo),純水電導(dǎo)儀在線監(jiān)測??膜水質(zhì),純水電導(dǎo)儀實(shí)時監(jiān)測純水電導(dǎo)率;
  
  5、優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)采用CNP專用高壓泵、進(jìn)口RO膜、進(jìn)口繼電器、管道接頭等元件,采用模塊化、一體化工藝設(shè)計(jì),性能穩(wěn)定,設(shè)備安裝維護(hù)簡單。

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